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    Aplicación de algoritmos de Inteligencia Artificial a la elipsometría espectroscópica

    Application of Artificial Intelligence algorithms to spectroscopic ellipsometry

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    LlamaRuizJuanNarciso ... (5.697Mb)
    Identificadores
    URI: https://hdl.handle.net/10902/36681
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    RefworksMendeleyBibtexBase
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    Autoría
    Llama Ruiz, Juan Narciso de la
    Fecha
    2025-06
    Director/es
    Gutiérrez Vela, YaelAutoridad Unican
    García Saiz, DiegoAutoridad Unican
    Derechos
    © Juan Narciso de la Llama Ruiz
    Palabras clave
    Elipsometría espectroscópica
    Películas delgadas
    Índice de refracción
    Coeficiente de extinción
    Redes neuronales
    PINN
    Tauc-Lorentz
    Tauc-Lorentz-Drude
    Spectroscopic ellipsometry
    Thin films
    Refractive index
    Extinction coefficient
    Neural network
    Resumen/Abstract
    La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica utilizada para la caracterización de películas delgadas, permitiendo determinar con gran precisión su grosor y propiedades ópticas, como el índice de refracción o el coeficiente de extinción. Sin embargo, el análisis de los datos obtenidos puede ser tedioso y complejo. Este proyecto propone integrar técnicas de inteligencia artificial, como el aprendizaje automático y aprendizaje profundo (en forma de redes neuronales no informadas y PINNs), para mejorar la precisión y eficiencia en la interpretación de datos elipsométricos, siguiendo diferentes modelos ópticos: el modelo de Tauc-Lorentz y el modelo de Tauc-Lorentz-Drude.
     
    Spectroscopic ellipsometry is an optical method used for the characterization of thin films, enabling a precise determination of their thickness and optical properties, such as their refractive index and extinction coefficient. However, the data analysis for the obtained results can be tedious and complex. This project proposes adding artificial intelligence techniques, such as machine learning and deep learning (in the form of uninformed neural networks and PINNs), in order to improve the accuracy and efficiency during the interpretation of ellipsometric data, following different optical models: the Tauc-Lorentz model and the Tauc-Lorentz-Drude model
    Colecciones a las que pertenece
    • G0906 Trabajos académicos [380]

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